کریوپمپ ایک ویکیوم پمپ ہے جو گیس کو گاڑھا کرنے کے لیے کم درجہ حرارت کی سطح کا استعمال کرتا ہے، جسے کنڈینسیٹ پمپ بھی کہا جاتا ہے۔ cryopump سب سے زیادہ پمپنگ کی شرح اور سب سے کم حتمی دباؤ کے ساتھ ایک صاف ویکیوم حاصل کرسکتا ہے، اور وسیع پیمانے پر سیمی کنڈکٹرز اور مربوط سرکٹس کی تحقیق اور پیداوار کے ساتھ ساتھ مالیکیولر بیم ریسرچ، ویکیوم کوٹنگ کا سامان، ویکیوم سطح کے تجزیہ کے آلات، آئن امپلانٹرز اور خلائی تخروپن۔ آلات، وغیرہ
پمپنگ کا اصول کرائیوپمپ ایک کولڈ پلیٹ سے لیس ہوتا ہے جسے مائع ہیلیم یا ریفریجریٹر کے ذریعے انتہائی کم درجہ حرارت پر ٹھنڈا کیا جاتا ہے۔ یہ گیس کو گاڑھا کرتا ہے اور کنڈینسیٹ کے بخارات کے دباؤ کو پمپ کے حتمی دباؤ سے نیچے رکھتا ہے، تاکہ پمپنگ اثر حاصل کیا جا سکے۔ کم درجہ حرارت پمپنگ کے اہم کام کم درجہ حرارت کی سنکشیشن، کم درجہ حرارت جذب اور کم درجہ حرارت کی گرفت ہیں۔
cryopump
① کم درجہ حرارت گاڑھا ہونا: گیس کے مالیکیول کولڈ پلیٹ کی سطح پر یا گاڑھی گیس کی تہہ پر گاڑھے ہوتے ہیں، اور توازن کا دباؤ بنیادی طور پر کنڈینسیٹ کے بخارات کے دباؤ کے برابر ہوتا ہے۔ ہائیڈروجن پمپ کرتے وقت، کولڈ پلیٹ کا درجہ حرارت کم ہوتا ہے۔
②کم درجہ حرارت جذب: گیس کے مالیکیولز ایک سالماتی تہہ کی موٹائی کے ساتھ کولڈ پلیٹ پر لیپت جذب کرنے والے کی سطح پر جذب ہوتے ہیں۔ جذب کے لیے توازن کا دباؤ ایک ہی درجہ حرارت پر بخارات کے دباؤ سے بہت کم ہے۔
③Cryogenic ٹریپنگ: گیس کے مالیکیولز جنہیں نکالنے کے درجہ حرارت پر گاڑھا نہیں کیا جا سکتا ہے وہ گاڑھا ہونے والی گیس کی بڑھتی ہوئی تہہ کے ذریعے دفن اور جذب ہو جاتے ہیں۔